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产品	中文名称	英文名称	规格	纯度	阀门
N2O	笑气	Nitrous Oxide	40L/47L/50L	3N/5N5	G5/8/DISS712
HCl	氯化氢	Hydrogen Chloride	40L/47L	3N/5N	CGA330/DISS634/DIN8
Cl2	氯气	Chlorine	40L/47L	5N	DISS634
TCS	三氯氢硅	Trichlorosilane	47L/210L	4N	VCR1/2" -1/4"
DCS	二氯二氢硅	Dichlorosilane	47L/210L	4N	CGA678
SiCl4	四氯化硅	Silicon Tetrachloride	47L/210L	5N	VCR1/2" -1/4"
C3F8	八氟丙烷	Octafluoropropane	47L	5N	CGA660
BCl3	三氯化硼	Boron Trifluoride	47L	5N	CGA660
D2	氘气	Deuterium	8L/47L	5N	QF-21A/CGA350
CH4	甲烷	Methane	47L	5N	CGA660/DISS716
C4F8	八氟环丁烷	Octafluorocyclobutane	47L	5N	CGA660/DISS716
C2F6	六氟乙烷	Hexafluoroethane	47L	5N	CGA660/DISS716
NF3	三氟化氮	Nitrogen Trifluoride	47L	4N	DISS640
C4F6	六氟丁二烯	Hexafluorobutadiene	47L	4N	DISS724
SF6	六氟化硫	Sulfur Hexafluoride	40L/47L	4N/5N	G5/8/CGA590
CF4	四氯化碳	Tetrafluoromethane	47L	5N	CGA580
SiH4	硅烷	Silane	47L	6N	DISS632
NH3	氨气	Ammonia	40L/47L	5N/6N/7N	CGA660/DISS720
BF3	三氯化硼	Boron Trichloride	8L/47L	4N	CGA330
WF6	六氟化钨	Tungsten Hexafluoride	10L/47L	5N	CGA638
HBr	溴化氢	Hydrogen Bromide	10L/47L	5N	DISS634
CH3F	一氟甲烷	Mono Fluoromethane	10L/47L	3N/4N5/5N	DISS724
CH2F2	二氟甲烷	Difluoromethane	10L/47L	3N/5N	DISS724
COS	羰基硫	Carbonyl Sulfide	10L/47L	4N	CGA330
C5H5F5	五氟乙烷	Pentafluoroethane	47L	4N	CGA580
CF3I	三氟碘甲烷	Trifluorodomethane	10L/47L	4N	DISS716
C5F8	八氟环戊烯	Octafluorocyclopentene	10L	4N	DISS716
SiF4	四氯化硅	Silicon Tetrafluoride	47L	5N	DISS642
CH3Si	甲基硅烷	Methylsilane	47L	2N5	CGA350
C3H10Si	三甲基硅烷	Trimethylsilane	47L	3N	CGA350
Cl6Si2	六氯乙硅烷	Hexachlorodisilane	47L	3N	VCR1/2" -1/4"
HF	氟化氢	Hydrogen fluoride	47L	3N/5N	CGA330/JSW22