超纯氮气/N2

发布日期：2015-12-12 12:10:00

简要描述：

超纯氮气气体名称规格主要用途气体纯度%气体装量钢瓶体积/L阀门型号超纯氮N6.013MPa40G5/8　在电子工业中高纯氮气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。N6.013MPa40CGA580N6.013MPa40CGA540　纯氮、高纯氮、超纯氮（GB/T8979-2008)项目名称指标超纯氮高纯氮纯氮氮气（N2)的体积分数/10-2≥99.999999.99999.99氧气（O2)的体积分数/10-6≤0.1350氩（Ar）的体积分数/10-6≤2——氢气（H2)的体积分数/10-6≤0.1115一氧化碳（CO)的体积分数/10-6≤0.115二氧化碳（CO2)的体积分数/10-6≤0.1110甲烷（CH4)的体积分数/10-6≤0.115水分/10-6≤0.5315注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。