六氟化钨 （WF6)
项目名称 | 纯度指标（%） | |
六氟化钨 | ≥99.999 | |
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杂质含量（ppm)
| 二氧化碳（CO2） | ≤0.5 |
氮气（N2） | ≤1 | |
氧气+氩气（O2+Ar） | ≤0.5 | |
一氧化碳（CO) | ≤0.5 | |
| 四氟化碳（CF4） | ≤0.5 | |
| 三氟化氮（NF3） | ≤0.5 | |
| 四氟化硅 (SiF4) | ≤0.5 | |
| 氟化氢（HF） | ≤5 | |
| 金属离子（Metals) | ≤1.5 | |
包装：采用40L、44L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到4-10L的气瓶中。
用途：在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层，可用于X-射线的发射电极。此外，WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。
理化性质: 能与许多物质发生化学反应，遇潮湿、空气或水分解，散发剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。腐蚀性很强，能侵蚀几乎所有的金属，能迅速腐蚀湿的玻璃。
注意事项：
一、泄漏应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内，抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。
二、防护措施：
1、呼吸系统防护：可能接触毒物时，必须佩戴防毒面具。
2、眼睛防护：戴安全防护眼镜。
3、身体防护：穿胶布防毒服。
4、手防护：戴防化学品手套。
三、急救措施
1、皮肤接触：脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。在灼伤处涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水。就医。
2、眼睛接触：立即翻开上下眼睑，立即用大量流动清水彻底冲洗至少15分钟。就医。
3、吸入：脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。立即就医。
4、食入：误服者用水漱口，饮牛奶或蛋清，立即就医。
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