发布日期：2015-06-25 17:58:00
简要描述：
产品规格品名浓度(%)平衡气体压力(MPa)容积(L)阀门硅烷混合气体0.5-50Ar、N2、He、H25-124-47可根据用户要求提供磷烷混合气体5ppm-23Ar、N2、He、H25-120.7-17硼烷混合气体5ppm-10Ar、N2、He、H25-104-17砷烷混合气体5ppm-5Ar、N2、He、H25-120.7-17硒化氢混合10ppm-5Ar、N2、He、H25-124-17乙硅烷5ppm-2Ar、N2、He、H2≥50.7-17锗烷5ppm-0.5Ar、N2、He、H2≥50.2-17包装：1-40（升）瓶装，标准充装压力：9.5MPa，组分和浓度范围可根据要求配制。
| 品名 | 浓度 (%) | 平衡气体 | 压力(MPa) | 容积(L) | 阀门 |
| 硅烷混合气体 | 0.5-50 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-47 | 可根据用户要求提供 |
| 磷烷混合气体 | 5ppm-23 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
| 硼烷混合气体 | 5ppm-10 | Ar、N2、He、H2 | 5-10 | 4-17 | |
| 砷烷混合气体 | 5ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 0.7-17 | |
| 硒化氢混合 | 10ppm-5 | Ar、N2、He、H2 | 5-12 | 4-17 | |
| 乙硅烷 | 5ppm-2 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.7-17 | |
| 锗烷 | 5ppm-0.5 | Ar、N2、He、H2 | ≥5 | 0.2-17 |
包装：1-40（升）瓶装，标准充装压力：9.5 MPa，组分和浓度范围可根据要求配制。
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